在半导体制造过程中,静电是一个需要严格控制的因素,因为即使是微小的静电放电也可能损坏敏感的电子元件或导致尘埃粒子吸附在晶圆表面,从而影响产品的成品率和可靠性。
在整个半导体制造过程中都会产生静电荷,主要由不同材料的接触和分离引起。静电荷通过三种方式影响生产率和良率,静电荷会静电吸引(ESA)空气中的颗粒,从而导致晶圆和光罩的潜在良率损失。
日本SIMCO思美高产品在半导体领域的应用主要集中在静电控制和除静电设备方面,以减少生产中的静电和微粒对半导体制造过程的影响。SIMCO思美高的静电控制和除静电设备、离子棒和离子风机等设备通过电晕放电产生正负离子,中和空气和工作表面的静电荷,从而减少静电吸附和放电对半导体制造过程的影响。
除静电枪
TOP GUN3静电消除枪
Top Gun3静电消除枪是一款高性能静电消除枪适用于各种应用。Top Gun的平衡电压为 0±15V,具有高吹扫力和低耗气量,可实现高效清洁和的静电荷衰减。
特点:
可调节气流的流量控制阀
集成、可更换的过滤喷嘴
巧、符合人体工程学的设计
电平衡离子输出,配备电离指示灯
对于自动化装配,配备光学传感器的 Top Gun可在物体进入范围时自动启动喷枪。配备Sidekick的Top Gun可在装配和制造过程中实现免提操作和灵活定位。脚踏板可同时控制电离和气流,从而降低压缩空气成本并延长电离器的使用寿命。
Top Gun吹非常适合“使用点"电离。枪管轻巧且符合人体工程学,操作员可将其喷嘴直接对准最终电子装配工位的目标。强大的吹气力还能有效去除颗粒污染物。
AirForce 6115静电吹尘枪
AirForce 6115型吹尘枪动力强劲,能够有效去除颗粒污染物,是清洁工艺应用的理想之选。6115型吹尘枪是一款达到 ISO 14644-14级清洁度标准的吹尘枪产品。稳态直流离子发射可提供高效电离,平均放电时间小于1.0秒。
特点:
ISO 14644-14级清洁度操作
带有一体式低压电源线的灵活、轻便的空气软管
符合人体工程学的喷枪设计,采用耐用的静电耗散材料
强劲的吹脱力,可更换的发射点组件和快速弹出过滤器