在半导体制造过程中,静电是一个需要严格控制的因素,因为即使是微小的静电放电也可能损坏敏感的电子元件或导致尘埃粒子吸附在晶圆表面,从而影响产品的成品率和可靠性。
在整个半导体制造过程中都会产生静电荷,主要由不同材料的接触和分离引起。静电荷通过三种方式影响生产率和良率,静电荷会静电吸引(ESA)空气中的颗粒,从而导致晶圆和光罩的潜在良率损失。
日本SIMCO思美高产品在半导体领域的应用主要集中在静电控制和除静电设备方面,以减少生产中的静电和微粒对半导体制造过程的影响。SIMCO思美高的静电控制和除静电设备、离子棒和离子风机等设备通过电晕放电产生正负离子,中和空气和工作表面的静电荷,从而减少静电吸附和放电对半导体制造过程的影响。
离子风棒
特点:
使用微脉冲高压技术
灵活而强大的设置
的电晕线设计(无发射点)
μWire AeroBar 5711静电消除器
μWire AeroBar 5711型静电消除器在垂直或水平位置均能保持良好性能,加上 μWire AeroBar的低调高度和长度设计,使其易于安装在各种平板工具位置(例如邮筒、传送带和装卸卡带区域,以及许多后端半导体组装和测试区域)。
特点:
微脉冲高压技术
5711 AeroBar 远程控制器
尺寸紧凑,的电晕线设计(无发射点)
应用场景:
由于半导体制造过程对静电极为敏感,SIMCO思美高的静电控制产品在半导体行业的应用非常关键,以下是具体的应用场景。
晶圆制造和处理
在晶圆制造过程中,离子风枪如Top Gun可用于清洁和中和静电,防止灰尘和其他微粒附着在晶圆表面,这可以避免因静电吸引导致的污染问题。
芯片组装与封装
在芯片的组装和封装阶段,静电可能会损坏集成电路。使用Simco-Ion的离子发生器、离子棒或离子风枪可以帮助消除静电,保护敏感元件。
测试和检测设备
使用数显静电场测试仪,可以实时监测工作环境中的静电水平,确保生产环境处于安全静电范围内,并验证防静电措施的有效性。
自动化生产线
对于高度自动化的生产线,可以集成带有光控感应开关的离子风枪或者安装离子棒,实现全自动静电消除,保证生产线上的每个环节都受到静电保护。