更新时间：2025-03-19
日本CANON ANELVA（热阴极电离真空计）M-311HG型这是传感器真空计系列中的离子计。 离子真空计（热阴极电离真空计）具有良好的重现性和线性性，能够测量广泛的压力，使其成为真空计的出色特性。 该传感器使用经过验证的微型仪表（MG-2I 型）。
日本CANON ANELVA（热阴极电离真空计）M-311HG型
日本CANON ANELVA（热阴极电离真空计）M-311HG型
这是传感器真空计系列中的离子计。 离子真空计（热阴极电离真空计）具有良好的重现性和线性性，能够测量广泛的压力，使其成为真空计的出色特性。 该传感器使用经过验证的微型仪表（MG-2I 型）。
压力测量范围
宽，可达 10-7 Pa ~ 10 Pa，在不牺牲超高真空侧特性的情况下，可测量超出溅射工艺的低真空范围
高响应模拟量输出：
带压力值的模拟量信号输出可确保 100 毫秒内的高响应，也可用于过程压力控制
可以选择
四种发射电流设置模式以适应应用，例如在高压区域使用时延长灯丝寿命
| 型 名 | イオンゲージ | |
|---|---|---|
| M-311HG‐SP | M-311HG‐RS | |
| 圧力測定範囲 | 1×10-7 ～ 10 Pa | |
| 入力電圧 | DC20 ～ 28 V | |
| 消費電力 | 12 W | |
| アナログ出力 | 0 ～ 10 V | － |
| セットポイント | 2点リレー出力 | |
| インターフェース | － | RS485 |
| 入出力コネクタ | Dsub-9（Male） | |
| 最大ケーブル長 | 200 m（1 mm2） | |
| 使用温度範囲 | 5 ～ 50 ℃ | |
| 保存温度範囲 | -20 ～ 70 ℃ | |
| センサ－型名 | ミニチュアB-Aゲージ（MG-2Iシリーズ） | |
| センサー材質（主要部） | フィラメント:Y2O3/Ir、ケース:SUS304 | |
| 外形寸法 （mm） | 110×70×50 | |
| フランジ形状 | NW16, NW25, ICF34, ICF70 | |
| 対応 | CEマーキング、RoHS、IP40 |
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