更新时间：2025-03-19
江崎出售日本CANON ANELVA 电容式膜片真空计 M-342电容式真空计 M-342DG 是一种隔膜式真空计，可通过最小零点调整实现准确、稳定的压力测量。这是使用小型硅 MEMS 芯片作为压力传感器单元来实现的，以最大限度地减少外部环境的影响，例如温度、振动和大气压力的变化。
江崎出售日本CANON ANELVA 电容式膜片真空计 M-342
江崎出售日本CANON ANELVA 电容式膜片真空计 M-342
电容式真空计 M-342DG 是一种隔膜式真空计，可通过最小零点调整实现准确、稳定的压力测量。
这是使用小型硅 MEMS 芯片作为压力传感器单元来实现的，以最大限度地减少外部环境的影响，例如温度、振动和大气压力的变化。
高精度、稳定的压力测量
・出色的零点稳定性。
・具有低温依赖性，无需温度调节机构即可提供出色的稳定性。
调整机制。
・优异的抗振噪声性能。
紧凑、低功耗
・200g、W46mm × H49mm × L70mm 紧凑、轻便*1
・功耗 0.5W。
*1：联轴器 NW16 规格的尺寸和重量
| Type | M-342DG | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| -1D | -1N | -11 | -12 | -13 | |
| Full scale pressure (Pa) | 13.33 | 133.3 | 1.333k | 13.33k | 133.3k |
| (Torr) | 0.1 | 1 | 10 | 100 | 1000 |
| Accuracy (% of reading) | 0.20 (at 23℃) | ||||
| Zero temperature drift coefficient (% of F.S./℃) | 0.01 | 0.005 | 0.002 | ||
| Span temperature drift coefficient (% of reading/℃) | 0.01 | 0.005 | |||
| Resolution (％ of Full-scale) | 0.01 | 0.005 | |||
| Lowest Reading (％ of Full-scale) | 0.01 | ||||
| Lowest Suggested Pressure for Reading (％ of Full-scale) | 0.05 | ||||
| Lowest Suggested Pressure for Control (％ of Full-scale) | 0.5 | ||||
| Response time (ms) | 100 | 30 | |||
| pressure limit (Pa) | 200 kPa (absolute pressure) However, 130 kPa (absolute pressure) for M-342DG-1D (for NW16 & NW25, inner area must not be at positive pressure) | ||||
| Input voltage (VDC) | +13.5 - 26.4 | ||||
| Power consumption (W) | 0.5 or less | ||||
| Signal output (VDC) | 0 to 10 | ||||
| Operating temperature (℃) | 0 to 50 | ||||
| Storage temperature (℃) | -20 to 70 (not operating) | ||||
Maximum cable length (m) | 100 (0.3㎟) | ||||
| Zero points adjustment methods | push switch, remote input | ||||
| Connector type | D-sub 9 pin male (mating screw: #4-40 inch) | ||||
| Materials exposed to vacuum | Si, Glass, SUS304, sus316, Fluorine Rubber | ||||
| Flange shape | NW16, NW25, 8-VCR, φ70ICF | ||||
| Conformity | CE marking, RoHS, IP40 | ||||
| Security Export Control Regulation | Not applicable | ||||
| Display | M-601GC (1ch), M-603GC(3c) |
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